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音尘称SK海力士将在1c DRAM分娩中采纳新式Inpria MOR光刻胶

发布日期:2024-05-31 20:38    点击次数:122

音尘东说念主士称,SK Hynix量产的1c DRAM上有五个极紫外(EUV)层,其中一层将使用MOR绘图。

IT之家 5 月 30 日音尘,跟着 DRAM 微型化的不断激动,SK 海力士、三星电子等公司正在勤恳于于新材料的建树和垄断。

据 TheElec,SK Hynix 筹谋在第 6 代(1c 工艺,约 10nm)DRAM 的分娩中使用 Inpria 下一代金属氧化物光刻胶(MOR),这是 MOR 初度垄断于 DRAM 量产工艺。

音尘东说念主士称,SK Hynix 量产的 1c DRAM 上有五个极紫外 (EUV) 层,其中一层将使用 MOR 绘图。他还补充说,配资者“不仅 SK 海力士,三星电子也将追求这类无机 PR 材料。”

IT之家查询公开贵寓获悉,Inpria 是日本化学公司 JSR 的子公司,亦然无机光刻胶领域的教唆者;而 MOR 则被以为是现在用于先进芯片光刻的化学放大光刻胶(CAR)的下一代居品。

此外,该公司自 2022 年以来就一直与 SK Hynix 配合进行 MOR 谈论。SK Hynix 此前曾暗示,使用 Sn(基)氧化物光刻胶将有助于提盘曲一代 DRAM 的性能并镌汰老本。

TheElec 报说念还指出,三星电子也在研讨将 MOR 垄断于 1c DRAM,现在三星电子在 1c DRAM 上垄断了 6 至 7 个 EUV 层,而好意思光则只垄断了 1 层。



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